[요약] 파장 1m 이하, 1mm 이상의 전자파(電磁波)를 이용하는 전기요법이다. 마이크로파를 이용한 전기요법. 대개 2,450MHz(파장 12.4cm)가 쓰이고 있다. 마이크로파는 같은 온열 치료기인 초단파치료기와는 달리 발진관에 마그네트론을 사용한다. 최근에는 방식이 개량되고 취급이 보다 간편해졌으며 치료 부위에 조사하면 충분한 효과를 얻을 수 있는 전자기파치료기이다. 전자 에너지는 인체에 약 5cm 깊이까지 침투하여 피부·근육·지방층에 비교적 고르게 흡수된다. 보통 복사체는 지름이 약 20cm의 반구형이며 가운데에 안테나가 있다. 이 안테나의 모양을 조작하여 지름 1cm 이하의 복사체를 만들어 질용(膣用)·항문용으로 사용 하고 있다. 성질도 빛에 가까워 직진·굴절·반사 등이 체내에서 일어난다. 초단파에 비해 전파 방해가 적어 최근 많이 이용되고 있다.